光學(xué)無(wú)塵車(chē)間建設(shè)

光學(xué)微電子無(wú)塵車(chē)間建設(shè)是指在光學(xué)微電子生產(chǎn)過(guò)程中，為了保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度，采取一系列措施建設(shè)無(wú)塵車(chē)間。無(wú)塵車(chē)間是指在車(chē)間內(nèi)控制空氣中的粉塵、微生物、細(xì)菌等微小顆粒物的濃度，使其達(dá)到一定的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，從而保證生產(chǎn)過(guò)程的潔凈和產(chǎn)品的質(zhì)量。